具有保护环的光刻板

摘要：

本实用新型公开了一种具有保护环的光刻板，包括光刻板本体和设置在光刻板本体最外圈的保护环，所述保护环紧密围在光刻板本体的外部边缘处并将内部的光刻板本体围起，所述保护环上具有圆型开孔、直角型开孔与直线型开孔，所述直角型开孔设置在光刻板本体的转角处，所述直线型开孔设置在光刻板本体的水平边缘与竖直边缘，所述圆型开孔设置在直角型开孔与直线型开孔的连接处。本实用新型在光刻板本体的外部边缘增设一保护环，保护环具有多种开孔，以便在保护环处的硅片的边缘处刻出晶粒，硅片边缘刻出晶粒后，边缘的不合格情况通过目测可以清楚看出，能有效防止混料情况，硅片带有保电性，不易打火。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201720584690.9

申请日期：2017-05-24

公开/公告号：CN206773393U

公开/公告日：2017-12-19

主分类号：G03F1/00(2012.01)I

申请/专利权人:常州银河电器有限公司

发明/设计人:高宝华

主申请人地址:213000 江苏省常州市新北区河海西路168号

专利代理机构:常州市科谊专利代理事务所 32225

代理人:孙彬

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种具有保护环的光刻板，其特征在于：包括光刻板本体(1)和设置在光刻板本体(1)最外圈的保护环(2)，所述保护环(2)紧密围在光刻板本体(1)的外部边缘处并将内部的光刻板本体(1)围起，所述保护环(2)上具有圆型开孔(3)、直角型开孔(4)与直线型开孔(5)，所述直角型开孔(4)设置在光刻板本体(1)的转角处，所述直线型开孔(5)设置在光刻板本体(1)的水平边缘与竖直边缘，所述圆型开孔(3)设置在直角型开孔(4)与直线型开孔(5)的连接处。