一种烘干装置

摘要：

本实用新型公开了一种烘干装置，涉及光刻胶烘干设备技术领域，为解决在现有烘干装置的烘箱与箱盖之间密封不严的问题而发明。本实用新型提供了一种烘干装置，包括烘箱和箱盖，所述烘箱上开设有开口，所述箱盖可盖合在所述烘箱位于所述开口处的端面上，还包括压紧机构，所述压紧机构包括压头，所述压头与所述端面的位置相对，所述压紧机构可通过所述压头向所述箱盖施加压力。本实用新型可用于光刻胶的烘干。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201720470564.0

申请日期：2017-04-28

公开/公告号：CN206684474U

公开/公告日：2017-11-28

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:合肥鑫晟光电科技有限公司%京东方科技集团股份有限公司

发明/设计人:余海;张心杰;赵武;胡文斌

主申请人地址:230011 安徽省合肥市新站区龙子湖路668号

专利代理机构:北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人:李桦

国别省市代码:安徽;34

权利要求：

一种烘干装置，包括烘箱和箱盖，所述烘箱上开设有开口，所述箱盖可盖合在所述烘箱位于所述开口处的端面上，其特征在于，还包括压紧机构，所述压紧机构包括压头，所述压头与所述端面的位置相对，所述压紧机构可通过所述压头向所述箱盖施加压力。