晶片旋转显影装置

摘要：

晶片旋转显影装置。涉及芯片加工领域，具体涉及一种晶片旋转显影装置。提供了一种显影效果好、安全性高的晶片旋转显影装置。包括显影装置本体，所述显影装置本体内设有晶片固定装置，所述晶片固定装置包括驱动块和若干设在驱动块上的晶片固定夹。所述固定夹固定设在驱动块上，所述驱动块由电机一驱动作顺时针和逆时针旋转。所述固定夹通过若干啮合在蜗轮周围的蜗杆与蜗轮连接，所述蜗轮由电机二驱动作顺时针和逆时针旋转。所述固定夹由两根相对设置的、与晶片适配的固定槽构成。所述固定槽铰接在驱动块上，两根所述固定槽之间设有一根水平的弹簧，晶片放入固定槽中时弹簧处于拉伸状态。本实用新型结构简单，显影效果好，适用范围广。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201720452814.8

申请日期：2017-04-26

公开/公告号：CN206788556U

公开/公告日：2017-12-22

主分类号：G03G15/10(2006.01)I

申请/专利权人:扬州杰利半导体有限公司

发明/设计人:游佩武;裘立强;王毅

主申请人地址:225008 江苏省扬州市维扬经济开发区创业园中路26号

专利代理机构:扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283

代理人:周全

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

晶片旋转显影装置，包括显影装置本体，所述显影装置本体内设有晶片固定装置，所述晶片固定装置包括驱动块和若干设在驱动块上的晶片固定夹，其特征在于，所述驱动块为水平放置的蜗轮，所述固定夹通过若干啮合在蜗轮周围的蜗杆与蜗轮连接，所述蜗轮由电机二驱动作顺时针和逆时针旋转。