光罩及检测结构

摘要：

本实用新型揭示了一种光罩及检测结构。本实用新型提供的光罩，包括第一模块区、第二模块区和第三模块区，所述第二模块区围绕所述第一模块区，所述第三模块区围绕所述第二模块区，所述第三模块区包括多个线条，每个线条的线宽依次增大，所述第二模块区的线宽大于第三模块区中线条的最大线宽。由此获得的检测结构，能够依据清洗工具转速的不同而黏附不同的残留物缺陷，进而通过残留物缺陷的检测，可以获悉清洗工具转速的偏离情况，可以及时修正，以确保清洗工具转速的正确性。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201720276071.3

申请日期：2017-03-17

公开/公告号：CN206710791U

公开/公告日：2017-12-05

主分类号：G03F1/44(2012.01)I

申请/专利权人:中芯国际集成电路制造（天津）有限公司%中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

发明/设计人:易旭东

主申请人地址:300385 天津市西青区中国天津市西青经济开发区兴华道19号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:天津;12

权利要求：

一种光罩，其特征在于，包括第一模块区、第二模块区和第三模块区，所述第二模块区围绕所述第一模块区，所述第三模块区围绕所述第二模块区，所述第三模块区包括多个不同线宽的线条，所述第二模块区的线宽大于第三模块区中线条的最大线宽。