受抑立方体形组件

摘要：

本实用新型总体涉及受抑立方体形组件，所述受抑立方体形组件具有：第一棱镜，所述第一棱镜具有第一表面、第二表面和第一斜边；以及第二棱镜，所述第二棱镜具有第三表面、第四表面和第二斜边。第一斜边和第二斜边面向彼此，并以气隙隔开。受抑立方体形组件可以包括与第二表面相邻的倾斜反射镜。第二表面可为反射衍射光栅。光以法向入射角并沿单一光轴穿过图像投影系统来反射到与受抑立方体形组件相邻的数字微镜器件(DMD)。入射在DMD上的光的方向使得从“打开”反射镜反射的光沿着DMD表面的法线并与斜边成45度来引导。输入光束和输出光束是平行的。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201720170550.7

申请日期：2017-02-24

公开/公告号：CN206563865U

公开/公告日：2017-10-17

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:应用材料公司

发明/设计人:D·马克莱;T·L·莱迪戈;T·N·托马斯;陈正方

主申请人地址:美国加利福尼亚州

专利代理机构:上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人:侯颖媖

国别省市代码:美国;US

权利要求：

一种受抑立方体形组件，所述受抑立方体形组件包括：第一棱镜，其中所述第一棱镜包括：第一表面；第二表面；以及第一斜边；第二棱镜，其中所述第二棱镜包括：第三表面；第四表面；以及第二斜边，其中所述第一斜边和所述第二斜边面向彼此，并且其中所述第一斜边和所述第二斜边由第一气隙隔开；以及倾斜反射镜，其中所述倾斜反射镜与所述第二表面相邻，并且其中所述倾斜反射镜和所述第二表面由第二气隙隔开。