一种新型纳米压印设备

摘要：

本实用新型公开了一种新型纳米压印设备，包括底端固定在机架上的上下移动装置、上下移动装置上方安装有用于放置模板或基板的托板，所述托板上设有环形槽，所述环形槽和真空泵或抽气泵相接通，所述托板下方设有加热装置；还包括固定在机架且位于托板上方的压板，还包括用于将PET膜固定于夹板和压板之间的夹紧装置，所述压板的上方设有紫外线光照灯，所述压板上设有用于通过紫外线的透明部分，所述夹板上设有用于通过基板或者模板的孔。将硅材料制作的模板上的纳米结构转印到PET膜上，采用PET膜进行纳米结构的压印，使得模板可以被反复使用，增加了模板的使用寿命，PET膜价格低，并且具备可回收性，大大减低了纳米压印工艺的成本。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201720147545.4

申请日期：2017-02-19

公开/公告号：CN206440934U

公开/公告日：2017-08-25

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:青岛天仁微纳科技有限责任公司

发明/设计人:冀然

主申请人地址:266000 山东省青岛市城阳区长城路89号青岛博士创业园21A号楼407、408室

国别省市代码:山东;37

权利要求：

一种新型纳米压印设备，包括控制单元、机体，其特征在于：还包括底端固定在机架上的上下移动装置、上下移动装置上方安装有用于放置模板或基板的托板，所述托板上设有环形槽，所述环形槽和真空泵或抽气泵相接通，所述托板下方设有加热装置；还包括固定在机架且位于托板上方的压板，还包括用于将PET膜固定于夹板和压板之间的夹紧装置，所述压板的上方设有紫外线光照灯，所述压板上设有用于通过紫外线的透明部分，所述夹板上设有用于通过基板或者模板的孔。