一种基板预对准装置

摘要：

本实用新型公开了一种基板预对准装置，包括用于承载玻璃基板的上底板面，所述上底板面的上表面固定有至少四组定位气缸和至少两组夹紧气缸，所述至少四组定位气缸呈L型均匀分布于所述上底板面的周边，所述至少两组夹紧气缸分别与所述至少四组定位气缸相对设置。本实用新型利用至少四组定位气缸定位玻璃基板的两条临边，再利用至少两组夹紧气缸对玻璃基板进行夹紧，实现了玻璃基板的预对准；本实用新型结构简单、轻便，大大降低了控制系统的难度。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201720082743.7

申请日期：2017-01-20

公开/公告号：CN206450966U

公开/公告日：2017-08-29

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:张明辉;王刚;宋海军;施益超;杨金国

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种基板预对准装置，其特征在于，包括用于承载玻璃基板的上底板面，所述上底板面的上表面固定有至少四组定位气缸和至少两组夹紧气缸，所述至少四组定位气缸呈L型均匀分布于所述上底板面的周边，所述至少两组夹紧气缸分别与所述至少四组定位气缸相对设置。