光学加工系统
本申请公开了一种光学加工系统,该系统包括沿光路方向依次设置的照明光源、空间光调制器、微透镜阵列和成像透镜,所述空间光调制器位于所述微透镜阵列的前焦面,所述成像透镜的前焦面与所述微透镜阵列的后焦面重合,所述空间光调制器为振幅型,具有二维分布的多个图块,所述微透镜阵列包括分布于同一平面内的多个微透镜,每个所述微透镜分别在主光轴方向上与一个所述图块对应。利用本实用新型系统和方法,至少具有以下优点:无机械运动机构,响应快速可靠;设备性能更优;图形轮廓清晰;可以获得多种干涉图案。
实用新型
CN201720082440.5
2017-01-20
CN206573851U
2017-10-20
G03F7/20(2006.01)I
李继刚
李继刚
215123 江苏省苏州市苏州工业园区苏州大道东381号商旅大厦6楼903室
宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273
袁丽花
江苏;32
一种光学加工系统,其特征在于,包括沿光路方向依次设置的照明光源、空间光调制器、微透镜阵列和成像透镜,所述空间光调制器位于所述微透镜阵列的前焦面,所述成像透镜的前焦面与所述微透镜阵列的后焦面重合,所述空间光调制器为振幅型,具有二维分布的多个图块,所述微透镜阵列包括分布于同一平面内的多个微透镜,每个所述微透镜分别在主光轴方向上与一个所述图块对应。