一种双温区开启式滑轨炉

摘要：

本发明提供一种双温区开启式滑轨炉，包括A炉、B炉、炉壳、真空气氛系统、温度控制系统和显示器，显示器设置在炉壳的中部，A炉和B炉均设置在炉壳内，A炉和B炉共用高纯度的石英管作为炉膛，石英管分别穿过A炉和B炉的加热腔，石英管的两端设置有用于密封炉膛的法兰，法兰的外侧设置有针阀，石英管的通气管道上还设置有真空压力表和扩展接口，A炉固定在B炉的一侧，B炉滑动设置在石英管上，A炉用于样品预热蒸发的工艺，B炉用于样品后续反应沉积的工艺，加热腔内的气体通过真空气氛系统控制形成反应气流，温度控制系统用于控制反应温度。本发明的方案能够使得周边拓展性好，加大对气体控制性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201711400523.5

申请日期：2017-12-22

公开/公告号：CN108151529A

公开/公告日：2018-06-12

主分类号：F27B5/05(2006.01)I

申请/专利权人:合肥费舍罗热工装备有限公司

发明/设计人:王磊;王峥;方松;徐洋

主申请人地址:231200 安徽省合肥市肥西县花岗镇工业聚集区纬二路

专利代理机构:北京开林佰兴专利代理事务所(普通合伙) 11692

代理人:刘帅帅

国别省市代码:安徽;34

权利要求：

一种双温区开启式滑轨炉，包括A炉、B炉、炉壳、真空气氛系统、温度控制系统和显示器，所述显示器设置在炉壳的中部，所述A炉和B炉均设置在炉壳内，其特征在于：所述A炉和B炉共用高纯度的石英管作为炉膛，所述石英管分别穿过A炉和B炉的加热腔，所述石英管的两端设置有用于密封炉膛的法兰，所述法兰的外侧设置有针阀，石英管的通气管道上还设置有真空压力表和扩展接口，所述A炉固定在B炉的一侧，所述B炉滑动设置在石英管上，所述A炉用于样品预热蒸发的工艺，所述B炉用于样品后续反应沉积的工艺，所述加热腔内的气体通过真空气氛系统控制形成反应气流，所述温度控制系统用于控制反应温度。