一种基板烘烤装置及方法

摘要：

本发明公开了一种基板烘烤装置及方法。该装置包括加热板、支撑件及时间控制电路，加热板用于对基板进行加热，支撑件设置在加热板上，用于支撑基板，基板和加热板之间的距离位于预设距离的范围内，时间控制电路用于控制加热板的加热时间，加热时间位于预设加热时间的范围内。通过这种方式，能够改善基板与支撑件的接触点对基板烘烤效果的影响，进而提高烘烤后基板的质量。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710637393.0

申请日期：2017-07-28

公开/公告号：CN107357141A

公开/公告日：2017-11-17

主分类号：G03F7/40(2006.01)I

申请/专利权人:武汉华星光电技术有限公司

发明/设计人:唐元江

主申请人地址:430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

专利代理机构:深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人:钟子敏

国别省市代码:湖北;42

权利要求：

一种基板烘烤装置，其特征在于，包括：加热板，用于对基板进行加热；支撑件，设置在所述加热板上，用于支撑所述基板，所述基板和所述加热板之间的距离位于预设距离的范围内；时间控制电路，用于控制所述加热板的加热时间，所述加热时间位于预设加热时间的范围内。