光学元件运动学支撑装置、投影物镜和光刻机

摘要：

本发明提供一种光学元件运动学支撑装置，包括：镜框，三组支撑脚，沿着所述镜框的圆周方向分别安装于所述镜框上，每组支撑脚约束两个自由度的位移；其中，所述光学元件固定于所述支撑脚内，所述支撑脚约束所述光学元件，可以同时实现六个自由度精确约束特别适用于高面形精度的光学元件无应力支撑，可以满足光刻物镜环境波动时的高精度支撑面形需求，有效提高了光学元件支撑面形精度。相应地，本发明提供了具有上述的光学元件运动学支撑装置的投影物镜及光刻机。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710519516.0

申请日期：2017-06-30

公开/公告号：CN107145040A

公开/公告日：2017-09-08

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发明/设计人:张德福;倪明阳;李显凌;隋永新;杨怀江

主申请人地址:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

专利代理机构:深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316

代理人:赵勍毅

国别省市代码:吉林;22

权利要求：

一种光学元件运动学支撑装置，其特征在于，包括：镜框，三组支撑脚，沿着所述镜框的圆周方向分别安装于所述镜框上，每组支撑脚约束两个自由度的位移；其中，所述光学元件固定于所述支撑脚内，所述支撑脚约束所述光学元件。