一种能充分利用显影液的新型自动显影机

摘要：

一种能充分利用显影液的新型自动显影机，包括设备下部与显影缸承载圆盘连接的显影缸，显影缸承载圆盘设置在与设备结构安装盘连接的平面轴承和转轴上，设备结构安装盘与齿轮副连接，齿轮副与步进电机连接；设备上部包括设有悬挂臂并与平面轴承连接的悬挂臂旋转盘，平面轴承连接在齿轮副和旋转步进电机上，上下移动机架通过燕尾滚珠滑道安装于设置在固定工作台上的固定机架上，固定工作台上设有光幕传感器，固定机架内设有燕尾滚珠滑道和滚珠螺母，滚珠螺母与精密丝杠和上下移动步进电机相连。采用本发明可以自动根据显影液浓度依次逐个更换显影液的设备，方便地完成显影，还可自动启动灭火装置保证安全。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710461897.1

申请日期：2017-06-19

公开/公告号：CN107085355A

公开/公告日：2017-08-22

主分类号：G03F7/30(2006.01)I

申请/专利权人:捷捷半导体有限公司

发明/设计人:王成森;沈广宇;薛治祥;沈怡东;王琳

主申请人地址:226200 江苏省南通市苏通科技产业园江成路1088号江成研发园内3号楼2159室

专利代理机构:南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人:卢海洋

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种能充分利用显影液的新型自动显影机，包括上部和下部；所述上部包括设备外壳（19），所述设备外壳（19）顶部设有轴流风机与消防活门（18），所述轴流风机与消防活门（18）旁边设有烟雾传感器（16）和温度测控仪（17），所述设备外壳（19）内设有悬挂臂旋转盘（1），所述悬挂臂旋转盘（1）两端设有悬挂臂（10）与硅片挂架（26）；所述悬挂臂旋转盘(1)与平面轴承(2)和旋转轴（15）连接，所述平面轴承（2）下端设有齿轮副（3），所述齿轮副（3）下端设有旋转步进电机（4）；所述平面轴承（2）与上下移动机架（5）连接，所述上下移动机架（5）通过燕尾滚珠滑道（7）安装于固定机架（6）上；所述上下移动机架（5）下端设有滚珠螺母（8），所述滚珠螺母（8）通过精密丝杠（9）和上下移动步进电机（11）连接；所述固定机架（6）设于固定工作台（13）上，所述固定工作台（13）上设有光幕传感器（12）和对应下部显影缸（20）的显影缸连接口（14）；所述下部：包括显影缸承载圆盘（21）连接显影缸（20），所述显影缸（20）上刻有换液位置（25）；所述显影缸承载圆盘（21）与平面轴承（2）和转轴（22）连接，所述平面轴承（2）和转轴（22）与设备结构安装盘（23）连接，所述设备结构安装盘（23）与齿轮副（3）连接，所述齿轮副（3）与步进电机（24）连接。