一种自动对位装置和曝光设备及其曝光方法

摘要：

本发明公开了一种自动对位装置和曝光设备及其曝光方法。一种自动对位装置包括安装架，固定联接于安装架下侧的下镜头机构，安装于下镜头上侧的下菲林机构，安装于下菲林机构上方的上菲林机构，及安装于上菲林机构上方的上镜头机构；上镜头机构、下镜头机构均设有若干个镜头组件，并通过镜头组件采集定位图像，以相应控制上菲林机构、下菲林机构的位置。本发明有效的避免了因裁切、冲挂孔所产生的钢膜屑对曝光的影响，再有静电棒消除静电、除尘机构除尘、空气净化等来保证基材的洁净度。采用高分辨率镜头组件进行实时监控对位情况，提高了对位的精度。全过程自动化操作，节省人工成本，提高了生产效率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710455414.7

申请日期：2017-06-16

公开/公告号：CN107024842A

公开/公告日：2017-08-08

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:深圳市前海野马自动化设备有限公司

发明/设计人:叶永禄

主申请人地址:518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室（入驻深圳市前海商务秘书有限公司）

专利代理机构:深圳市精英专利事务所 44242

代理人:冯筠

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种自动对位装置，其特征在于，包括安装架，固定联接于安装架下侧的下镜头机构，安装于下镜头上侧的下菲林机构，安装于下菲林机构上方的上菲林机构，及安装于上菲林机构上方的上镜头机构；所述上镜头机构、下镜头机构均设有若干个镜头组件，并通过镜头组件采集定位图像，以相应控制上菲林机构、下菲林机构的位置。