光刻投影物镜热像差在线预测方法

摘要：

一种光刻投影物镜热像差在线预测方法。本方法在光刻照明参数和掩模配置以及工作时序确定的情况下，在曝光间隙通过热像差传感器测量热像差，基于双指数模型建立像质参数的状态转移方程，结合测量数据利用粒子滤波算法预测曝光期间投影物镜的热像差。相比于在先技术，本发明可以更为快速准确地预测投影物镜的热像差。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710440136.8

申请日期：2017-06-12

公开/公告号：CN107121893A

公开/公告日：2017-09-01

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院上海光学精密机械研究所

发明/设计人:茅言杰;李思坤;王向朝

主申请人地址:201800 上海市嘉定区清河路390号

专利代理机构:上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人:张宁展

国别省市代码:上海;31