一种高精度三维激光曝光固化工艺

摘要：

本发明提供一种高精度三维激光曝光固化工艺，包括以下步骤，S1：读取待加工物件的三维矢量图；S2：计算待加工物件的三维曝光路径，并依据三维矢量图进行三维路径插补；S3：根据三维曝光路径及激光加工设备的光路系统中各镜片的参数信息计算实际加工过程各时间点激光加工设备中扩束镜与三维动态聚焦振镜之间在光轴方向的距离；S4：将待加工物件固定在激光加工设备中的三维旋转夹具系统中；S5：启动激光加工设备，使得三维旋转夹具系统与三维动态聚焦系统同时运行，实际激光固化过程可以达到灵活驱动高速动态Z轴，实现激光光斑的高速变焦，由于实际的聚焦面为曲面，所以采用本工艺可以较好的实现针对曲面的曝光固化加工，保证高精确度和高效率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710354582.7

申请日期：2017-05-19

公开/公告号：CN107024837A

公开/公告日：2017-08-08

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:深圳市斯普莱特激光科技有限公司

发明/设计人:朱刚;周劼;文林海;吕俊峰

主申请人地址:518000 广东省深圳市龙华新区大浪街道华宁路华联工业区第8栋402

专利代理机构:广东广和律师事务所 44298

代理人:王少强

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种高精度三维激光曝光固化工艺，其特征在于：包括以下步骤，S1：读取待加工物件的三维矢量图；并将所读取得到的三维矢量图信息导入到激光加工设备的存储器中保存；S2：根据步骤S1得到的三维矢量图信息计算待加工物件的三维曝光路径，并依据三维矢量图进行三维路径插补，保证曝光路径均匀完整；S3：根据步骤S2计算得出的三维曝光路径以及激光加工设备的光路系统中各镜片的参数信息计算实际加工过程各时间点激光加工设备中扩束镜与三维动态聚焦振镜之间在光轴方向的距离，通过控制扩束镜与三维动态聚焦振镜的距离，从而控制实际投射到待加工物件表面聚焦光点的位置；S4：将待加工物件固定在激光加工设备中的三维旋转夹具系统中，并将激光加工设备内部三维动态聚焦系统中的扫描振镜对准安装在三维旋转夹具系统中的待加工物件；S5：启动激光加工设备，使得三维旋转夹具系统与三维动态聚焦系统同时运行，三维动态聚焦系统中的扩束镜根据系统预设信息不断改变与三维动态聚焦振镜的距离，三维旋转夹具系统驱动待加工物件不断变换角度；S6：对步骤S5加工完成的待加工物件进行表面清洁处理，制备得到最终的固化成品。