一种显影液组合物及其制备方法

摘要：

本发明提出一种改善无机碱的显影液效果的方法以及一种含有无机碱的显影液。一种改善无机碱的显影液效果的方法，主要是在常规的无机碱显影液中加入Gemini型表面活性剂和两性活性剂。另外，本发明还提供一种含有无机碱的显影液，质量百分比如下：无机碱3.01％‑8％，Gemini表面活性剂0.01％‑0.2％或3.01％‑4％，两性表面活性剂0.01％‑0.2％或2.0％‑5.0％，有机溶剂0％‑0.9％，其余成分为去离子水。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710330434.1

申请日期：2017-05-11

公开/公告号：CN107219731A

公开/公告日：2017-09-29

主分类号：G03F7/32(2006.01)I

申请/专利权人:苏州新滤精环保科技有限公司

发明/设计人:刘刚

主申请人地址:215000 江苏省苏州市工业园区春辉路11号2幢312室

专利代理机构:上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288

代理人:刘君

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种改善无机碱的显影液效果的方法，其特征在于：在常规的无机碱显影液中加入Gemini型表面活性剂和两性活性剂。