与外涂布光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物

摘要：

本发明提供与外涂布光致抗蚀剂一起使用的有机涂料组合物，确切地说抗反射涂层组合物，其包含热酸产生剂，所述热酸产生剂包含：i)具有一或多个选自任选经取代的烷基和任选经取代的杂烷基的环取代基的吡锭组分；和ii)磺酸组分。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710289617.3

申请日期：2017-04-27

公开/公告号：CN107422607A

公开/公告日：2017-12-01

主分类号：G03F7/09(2006.01)I

申请/专利权人:罗门哈斯电子材料韩国有限公司

发明/设计人:李晶真;林载峰;尹准汉;姜智熏

主申请人地址:韩国忠清南道

专利代理机构:北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280

代理人:徐舒

国别省市代码:韩国;KR

权利要求：

一种形成光致抗蚀剂浮雕图像的方法，其包含：a)在衬底上涂覆包含以下的组合物层：1)树脂；和2)包含以下的热酸产生剂：i)具有一或多个选自任选经取代的烷基和任选经取代的杂烷基的环取代基的吡锭组分；和ii)磺酸组分；以及b)将光致抗蚀剂组合物层涂覆于所述组合物层上。