分区曝光设备及使用其制造液晶显示器的方法

摘要：

本公开涉及一种分区曝光设备及使用其制造液晶显示器的方法，该设备和方法能够在具有COT结构的大尺寸液晶显示器中使用分区曝光通过单个掩模处理在RGBW子像素上均匀地形成PAC层。为此，在交叠区域的中心处的照射强度的总和被控制在120％至130％的范围内，并且在交叠区域的边缘(边界)处从100％逐渐增加。因此，使RGB子像素与W子像素之间的单元间隙统一，因此防止了斑点问题。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710287905.5

申请日期：2017-04-27

公开/公告号：CN107340690A

公开/公告日：2017-11-10

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:乐金显示有限公司

发明/设计人:李东炫

主申请人地址:韩国首尔

专利代理机构:北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人:康建峰%吴琼

国别省市代码:韩国;KR

权利要求：

一种分区曝光设备，其通过由多次扫描将光以光照射图案发射而以划分的方式使基板暴露于光，所述分区曝光设备包括片，所述片位于扫描交叠的交叠区域中的光照射图案的一侧并且根据位置控制曝光能量，其中所述交叠区域被划分为至少两个区域，即第一区域和第二区域，光落在所述至少两个区域上，对于不同扫描的不同照射强度，所述第一区域和所述第二区域在照射强度方面具有不同的增加率。