一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法

摘要：

本发明公开了一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法，通过DMD控制器完成灰度曝光图像的分割和拼接，从而高速生成DMD灰度调制实时曝光图像，并根据曝光图像对DMD进行基于二元脉冲宽度的灰度调制，尽量缩短调制基准时间，提高DMD灰度曝光帧频，进而提高DMD数字光刻机曝光的工作效率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710278725.0

申请日期：2017-04-25

公开/公告号：CN106886132A

公开/公告日：2017-06-23

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:电子科技大学

发明/设计人:彭超;邹见效;何建;池文明;李艳

主申请人地址:611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

专利代理机构:成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220

代理人:温利平

国别省市代码:四川;51