感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷布线板的制造方法

摘要：

本发明涉及一种感光性元件，其具备支撑膜和形成在该支撑膜上的由感光性树脂组合物得到的感光层，其中，支撑膜的雾度为0.01～1.5％，且该支撑膜中所含有的直径为5μm以上的粒子和直径为5μm以上的凝聚物的总数为5个/mm²以下，感光层含有粘合剂聚合物、具有烯属不饱和键的光聚合性化合物以及光聚合引发剂，感光层的厚度T和感光层的365nm下的吸光度A满足下述式(I)所示的关系。0.001≤A/T≤0.020   (I)。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710208583.0

申请日期：2011-12-15

公开/公告号：CN107367903A

公开/公告日：2017-11-21

主分类号：G03F7/031(2006.01)I

申请/专利权人:日立化成株式会社

发明/设计人:久保田雅夫

主申请人地址:日本东京

专利代理机构:永新专利商标代理有限公司 72002

代理人:白丽%陈建全

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种感光性元件，其是具备支撑膜和形成在该支撑膜上的由感光性树脂组合物得到的感光层的感光性元件，其中，所述支撑膜的雾值为0.01～1.5％，且该支撑膜中所含有的直径为5μm以上的粒子和直径为5μm以上的凝聚物的总数为5个/mm²以下，所述感光层含有粘合剂聚合物、具有烯属不饱和键的光聚合性化合物以及光聚合引发剂，所述感光层的厚度T和所述感光层的365nm下的吸光度A满足下述式(I)所示的关系，0.001≤A/T≤0.020   (I)。