一种高均匀性LED平行光紫外曝光机光源系统

摘要：

本发明公开了一种高均匀性LED平行光紫外曝光机光源系统，包由阵列排布的紫外LED灯珠和对应的准直透镜紫外LED组成的平行光源模组、支撑光源模组或样品移动的机械与控制系统，该机械与控制系统使曝光时光源模组与样品在x‑y二维平面内相对运动，其运动轨迹均匀分布且最外围覆盖光源模组的最小重复单元。本发明采用移动旋转系统及其平行光源模组极大地提高了曝光均匀度，同时因降低了光源发散角而使得曝光强度提高，提高了曝光质量，解决了因分辨率不一致而导致的断线等现象；本发明还有利于多种波长的平行光实现均匀曝光，从而适应不同的油墨、光阻。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710043423.5

申请日期：2017-01-21

公开/公告号：CN106773549A

公开/公告日：2017-05-31

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:南京新趋势光电有限公司

发明/设计人:周玉刚;蔡云峰

主申请人地址:210046 江苏省南京市栖霞区恒园路龙港科技园B2栋4-1

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种高均匀性LED平行光紫外曝光机光源系统，其特征在于：包括由阵列排布的紫外LED灯珠和对应的准直透镜紫外LED组成的平行光源模组、支撑光源模组或样品移动的机械与控制系统，该机械与控制系统使曝光时光源模组与样品在x‑y二维平面内相对运动，其运动轨迹均匀分布且最外围覆盖光源模组的最小重复单元。