一种曝光机及其图像偏移防治方法和系统

摘要：

本发明实施例提供一种曝光机及其图像偏移防治方法和系统，通过在轴承和升降杆相连接的一端设置由透明材料制成的防尘罩，便于通过人工或机器视觉方式检测轴承是否已磨损，从而有效防治因轴承磨损掉落残渣而导致的光阻图像产生局部偏移的现象，可以有效提高黄光制程中经光刻蚀得到的玻璃基板的良品率，从而提高黄光制程的生产效率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710020601.2

申请日期：2017-01-11

公开/公告号：CN106527062A

公开/公告日：2017-03-22

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:惠科股份有限公司%重庆惠科金渝光电科技有限公司

发明/设计人:温俊斌

主申请人地址:518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋，九州阳光1号厂房6、7楼

专利代理机构:深圳中一专利商标事务所 44237

代理人:梁艳妮

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种曝光机，其特征在于，包括主壳体以及设置在所述主壳体内的载物机台、曝光组件和升降杆轴承机构，所述升降杆轴承机构与所述载物机台和所述曝光组件机械连接，所述升降杆轴承机构包括：轴承，与所述曝光组件机械连接；升降杆，与所述轴承机械连接，用于绕所述轴承旋转以控制所述曝光组件上下升降；以及防尘罩，设置在所述轴承与所述升降杆相连接的一端的外侧，所述防尘罩由透明材料制成。