一种溶剂回收系统和方法以及涂布机和涂布光阻的方法

摘要：

本发明涉及光阻液回收领域，具体公开了一种溶剂回收系统和方法以及涂布机和涂布光阻的方法。所述溶剂回收系统包括蒸馏罐、液化冷却罐和过滤器，将待回收的含有光阻和溶剂的混合废液在所述蒸馏罐中进行蒸馏以使得所述溶剂气化以与光阻分离，气化之后的溶剂依次经所述液化冷却罐进行冷却并经所述过滤器进行过滤除杂。采用本发明提供的溶剂回收系统和方法能够对含有光阻的混合废液中的溶剂进行有效回收，从而能够节约溶剂供给成本，节能环保，极具工业应用前景。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201710017744.8

申请日期：2017-01-11

公开/公告号：CN106773536A

公开/公告日：2017-05-31

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:东旭（昆山）显示材料有限公司%东旭集团有限公司%东旭科技集团有限公司

发明/设计人:汪杰;陈聪文

主申请人地址:215300 江苏省苏州市昆山市开发区前进中路167号1幢（国际大厦）1517屋

专利代理机构:北京润平知识产权代理有限公司 11283

代理人:严政%刘依云

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种溶剂回收系统，其特征在于，所述溶剂回收系统包括蒸馏罐、液化冷却罐和过滤器，将待回收的含有光阻和溶剂的混合废液在所述蒸馏罐中进行蒸馏以使得所述溶剂气化以与光阻分离，气化之后的溶剂依次经所述液化冷却罐进行冷却并经所述过滤器进行过滤除杂。