感光性树脂组合物

摘要：

一种感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201680019911.6

申请日期：2016-04-08

公开/公告号：CN107407880A

公开/公告日：2017-11-28

主分类号：G03F7/027(2006.01)I

申请/专利权人:旭化成株式会社

发明/设计人:国松真一;松田隆之;山田有里;筒井大和;藤原晶

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人:刘新宇%李茂家

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种感光性树脂组合物，其含有：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和键的化合物；和，(C)光聚合引发剂，用耐化学试剂性评价的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。