抗蚀剂图案被覆用涂布液及图案的形成方法

摘要：

本申请的课题在于提供一种新的抗蚀剂图案被覆用涂布液。作为解决本发明课题的手段为一种抗蚀剂图案被覆用涂布液，其包含：具有下述式(1)所示的结构单元的聚合物，下述式(2)所示的伯胺、仲胺或叔胺，以及能够溶解上述聚合物和胺的下述式(3)所示的酯。[(式(1)中，R₁表示氢原子或甲基，L表示可以具有至少1个取代基的二价的芳香族基团、‑C(＝O)‑O‑基或‑C(＝O)‑NH‑基，X表示氢原子、或者碳原子数1～10的直链状或支链状的烷基或烷氧基，该烷基中的至少1个氢原子可以被卤原子或羟基取代。)(式(2)中，R₂、R₃和R₄各自独立地表示氢原子、羟基、或者碳原子数1～16的直链状、支链状或环状的有机基团。)(式(3)中，R₅和R₆各自独立地表示碳原子数1～16的直链状或支链状的有机基团。)]。<img file="DDA0001418471160000011.TIF" wi="1651" he="575" />

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201680018377.7

申请日期：2016-03-18

公开/公告号：CN107430355A

公开/公告日：2017-12-01

主分类号：G03F7/40(2006.01)I

申请/专利权人:日产化学工业株式会社

发明/设计人:西田登喜雄;坂本力丸

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京市中咨律师事务所 11247

代理人:马妮楠%段承恩

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种抗蚀剂图案被覆用涂布液，其包含：具有下述式(1)所示的结构单元的聚合物，下述式(2)所示的伯胺、仲胺或叔胺，以及能够溶解所述聚合物和胺的下述式(3)所示的酯，<img file="FDA0001418471140000011.TIF" wi="1637" he="578" />式(1)中，R₁表示氢原子或甲基，L表示可以具有至少1个取代基的二价的芳香族基团、‑C(＝O)‑O‑基或‑C(＝O)‑NH‑基，该‑C(＝O)‑O‑基或‑C(＝O)‑NH‑基的碳原子与聚合物的主链结合，X表示氢原子、或者碳原子数1～10的直链状或支链状的烷基或烷氧基，该烷基中的至少1个氢原子可以被卤原子或羟基取代，式(2)中，R₂、R₃和R₄各自独立地表示氢原子、羟基、或者碳原子数1～16的直链状、支链状或环状的有机基团，式(3)中，R₅和R₆各自独立地表示碳原子数1～16的直链状或支链状的有机基团。