感光性树脂组合物和蚀刻方法

摘要：

本发明的课题在于提供对含有高浓度的氢氟酸或氟化铵的蚀刻液的耐性优异的感光性树脂组合物、和利用该感光性树脂组合物的蚀刻方法。感光性树脂组合物，其是在通过含有氢氟酸或氟化铵的蚀刻液进行蚀刻处理的蚀刻方法中使用的感光性树脂组合物，至少包含(A)酸改性环氧丙烯酸酯、(B)光聚合引发剂、(C)封端异氰酸酯化合物和(D)填料；以及，蚀刻方法，在基材的至少单面上形成含有该感光性树脂组合物的感光性树脂层，对感光性树脂层进行曝光后显影，对感光性树脂层进行加热后，通过含有氢氟酸或氟化铵的蚀刻液进行蚀刻处理。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201680017653.8

申请日期：2016-03-16

公开/公告号：CN107430339A

公开/公告日：2017-12-01

主分类号：G03F7/027(2006.01)I

申请/专利权人:三菱制纸株式会社

发明/设计人:入泽宗利;后闲宽彦;梶谷邦人;丰田裕二;中川邦弘

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人:蔡晓菡%李炳爱

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

感光性树脂组合物，其是在通过含有氢氟酸或氟化铵的蚀刻液进行蚀刻处理的蚀刻方法中使用的感光性树脂组合物，其特征在于，至少包含(A)酸改性环氧丙烯酸酯、(B)光聚合引发剂、(C)封端异氰酸酯化合物和(D)填料。