光罩箱、保管装置及方法、搬送装置及方法、及曝光装置

摘要：

一种光罩箱，能够保管于保管装置，且包括第一箱部和第二箱部，该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，该第二箱部设置成能够相对于第一箱部装拆，并具有与底面相对配置的上表面，第二箱部具有在保持于保管装置时使用的保持部，保持部包括：第一光通过部，在安装于第一箱部的第二箱部位于被保管于保管装置的第一位置时，光通过第一光通过部；和与第一光通过部不同的第二光通过部，在从第一箱部拆下的第二箱部的保持部位于被保持于保管装置的第二位置时，光通过第二光通过部。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201680016449.4

申请日期：2016-01-22

公开/公告号：CN107407867A

公开/公告日：2017-11-28

主分类号：G03F1/66(2006.01)I

申请/专利权人:株式会社尼康

发明/设计人:吹田文吾;向井干人

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京市金杜律师事务所 11256

代理人:陈伟%王娟娟

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种光罩箱，其能够保管于保管装置，且包括第一箱部和第二箱部，所述第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，所述第二箱部设置为能够相对于第一箱部装拆且具有与所述底面相对配置的上表面，所述光罩箱的特征在于：所述第二箱部具有在从所述第一箱部拆下而保持于所述保管装置时使用的保持部，所述保持部包括：在位于安装于所述第一箱部的所述第二箱部被保管于所述保管装置的第一位置时，供光通过的第一光通过部；和在位于从所述第一箱部拆下的所述第二箱部的所述保持部被保持于所述保管装置的第二位置时，供所述光通过的第二光通过部，所述第二光通过部与所述第一光通过部不同。