一种光刻胶供应装置

摘要：

本实用新型提供一种光刻胶供应装置，包括用于存储光刻胶的光刻胶桶；用于暂存光刻胶的暂存容器；以及连通光刻胶桶和所述暂存容器的导流管，供应装置还包括：承载盘，承载盘包括底盘和侧壁，底盘的边缘嵌于侧壁底部的内侧并可相对于侧壁滑动；承载盘内承载光刻胶桶，且承载盘与光刻胶桶光滑接触；重量感应器，重量感应器与底盘连接并侦测光刻胶桶的重量；控制装置，控制装置包括控制器和马达，控制器与重量感应器连接并接收重量感应器的信息以控制马达动作，马达与底盘连接并带动底盘转动。本实用新型的供应装置提高光刻胶的利用率，减少了排泡时的损失，降低成本，减少了排出的光刻胶废液，从而减轻了对环境的污染。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621493050.9

申请日期：2016-12-30

公开/公告号：CN206348589U

公开/公告日：2017-07-21

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:中芯国际集成电路制造（北京）有限公司%中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

发明/设计人:姜国锋

主申请人地址:100176 北京市大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

专利代理机构:上海光华专利事务所 31219

代理人:王华英

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种光刻胶供应装置，包括：用于存储光刻胶的光刻胶桶；用于暂存光刻胶的暂存容器；以及连通所述光刻胶桶和所述暂存容器的导流管，其特征在于，所述供应装置还包括：承载盘，所述承载盘包括底盘和侧壁，所述底盘的边缘嵌于所述侧壁底部的内侧并可相对于所述侧壁滑动；所述承载盘内承载所述光刻胶桶，且所述承载盘与所述光刻胶桶光滑接触；重量感应器，所述重量感应器与所述底盘连接并侦测所述光刻胶桶的重量；控制装置，所述控制装置包括控制器和马达，所述控制器与所述重量感应器连接并接收所述重量感应器的信息以控制所述马达动作，所述马达与所述底盘连接并带动所述底盘转动。