匀胶显影设备异常监控系统

摘要：

公开了一种匀胶显影设备异常监控系统，该监控系统包括：依次连接的传感器、主控装置以及提示装置，所述传感器用于将工作条件的异常转化为输入信号，所述主控装置包括：传感信号传递模块；微处理器，通过所述传感信号传递模块与所述传感器连接，所述输入信号通过所述传感信号传递模块传至所述微处理器，所述微处理器用于根据所述输入信号得出输出信号；以及存储模块，用于根据所述输入信号记录工作条件的异常信息，所述提示装置用于根据所述输出信号发出提示。根据本实用新型的监控系统，能在匀胶显影设备的工作条件异常时发出提示，主控装置包括的存储模块能记录工作条件的异常信息，从而在设备发出异常提示时更方便对异常的分析。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621490072.X

申请日期：2016-12-30

公开/公告号：CN206421161U

公开/公告日：2017-08-18

主分类号：G03F7/30(2006.01)I

申请/专利权人:杭州士兰集成电路有限公司

发明/设计人:邓涛;周文林

主申请人地址:310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街（东）308号

专利代理机构:北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人:蔡纯%张靖琳

国别省市代码:浙江;33

权利要求：

一种匀胶显影设备异常监控系统，其特征在于，所述监控系统包括：依次连接的传感器、主控装置以及提示装置，所述传感器用于将工作条件的异常转化为输入信号，所述主控装置包括：传感信号传递模块；微处理器，通过所述传感信号传递模块与所述传感器连接，所述输入信号通过所述传感信号传递模块传至所述微处理器，所述微处理器用于根据所述输入信号得出输出信号；以及存储模块，用于根据所述输入信号记录工作条件的异常信息，所述提示装置用于根据所述输出信号发出提示。