一种紫外纳米压印装置

摘要：

一种紫外纳米压印装置，该装置包括调节装置、压印装置、传输装置、固化装置及脱模装置。调节装置通过光栅尺位移传感器与激光对中装置对六自由度工作平台进行反馈调节，其后模板经由六自由度工作平台控制与涂胶衬底对齐贴紧，对齐贴紧后通入空气对模板及涂胶衬底进行压印，压印完成后通过传输装置传输至紫外灯光下进行固化，随后移回六自由度工作平台上方，最后由脱模装置进行揭开式脱模。本实用新型可以使模板与涂胶衬底精确的对齐贴紧，采用气体施压，保证受力均匀，提升压印图案精度，便于脱膜。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621430939.2

申请日期：2016-12-26

公开/公告号：CN206348588U

公开/公告日：2017-07-21

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:长春工业大学

发明/设计人:谷岩;朱文慧;张群;陈斯;韩小龙;李景鹏;郑恭承;盖铭宇;董来喜;林恒;王琳;贯昌玉

主申请人地址:130012 吉林省长春市延安大街2055号

国别省市代码:吉林;22

权利要求：

一种紫外纳米压印装置，其特征在于：所述的紫外纳米压印装置包括外壳、紫外灯、六自由度工作平台、压印装置、传输装置、工作台和底板，在外壳内有六自由度工作平台，通过螺钉固定于底板上,六自由度工作台上方有真空吸盘，真空吸盘吸附工作台,工作台上方有压印装置，与外壳通过螺纹连接，外壳内壁上有传输装置，通过螺钉与外壳内壁连接，传输装置末端有紫外灯。