一种掩膜板的检查装置

摘要：

本实用新型提供一种掩膜板的检查装置，包括底座，所述底座是由底板和两侧的竖板拼接成的U形支架，两侧竖板外侧各安装有一个旋转电机，两个旋转电机对称安装，两个旋转电机的转轴穿过竖板连接旋转框架，掩膜板通过夹紧装置固定于旋转框架上，通过旋转电机带动掩膜板旋转；包括配套设置的电气控制按键板和电气控制柜，所述电气控制按键板和电气控制柜连接旋转电机、水平定位装置和旋转限位装置，通过水平定位装置控制掩膜板的水平位置，通过旋转限位装置控制掩膜板的正反旋转角度。实现对大尺寸掩膜板正反两面的宏观检查，以及对其进行简单的清洁功能。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621415494.0

申请日期：2016-12-22

公开/公告号：CN206400256U

公开/公告日：2017-08-11

主分类号：G03F1/84(2012.01)I

申请/专利权人:南京熊猫电子股份有限公司%南京熊猫机电仪技术有限公司%南京熊猫信息产业有限公司

发明/设计人:潘超;陈兆力;曹霞

主申请人地址:210002 江苏省南京市中山东路301号

专利代理机构:南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249

代理人:张耀文

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种掩膜板的检查装置，其特征在于：包括底座，所述底座是由底板和两侧的竖板(4)拼接成的U形支架，两侧竖板(4)外侧各安装有一个旋转电机(2)，两个旋转电机对称安装，两个旋转电机的转轴穿过竖板(4)连接旋转框架(5)，掩膜板(6)通过夹紧装置固定于旋转框架(5)上，通过旋转电机(2)带动掩膜板(6)旋转；包括配套设置的电气控制按键板(1)和电气控制柜(3)，所述电气控制按键板(1)和电气控制柜(3)连接旋转电机(2)、水平定位装置(7)和旋转限位装置(8)，通过水平定位装置(7)控制掩膜板(6)的水平位置，通过旋转限位装置(8)控制掩膜板(6)的正反旋转角度。