一种单台面直写式曝光机

摘要：

本实用新型提供了一种单台面直写式曝光机，属于曝光机领域，其包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方。与现有技术相比，该单台面直写式曝光机采用一套标定模块完成标定，标定流程简单，标定位置准确，第一驱动模组和第二驱动模组协同作用并结合标定模组使标定模块的行程能够一次性完成整个曝光镜头的能量标定。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621401143.4

申请日期：2016-12-20

公开/公告号：CN206378688U

公开/公告日：2017-08-04

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:湖北凯昌光电科技有限公司

发明/设计人:蔡志国;王友车;吴斌

主申请人地址:432900 湖北省孝感市孝昌县经济开发区城南工业园

专利代理机构:深圳市千纳专利代理有限公司 44218

代理人:黄良宝

国别省市代码:湖北;42

权利要求：

一种单台面直写式曝光机，包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，其特征在于：还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方；标定模组包括X轴方向设置在底架上的丝杆、驱动丝杆转动的丝杆电机以及连接丝杆和丝杆电机的联轴器，标定模块套在丝杆上。