一种实现同步对向运动的机械装置

摘要：

本实用新型公开了一种实现同步对向运动的机械装置，包括底座、设置在所述底座上的同步对向运动输出机构，第一光学元件和第二光学元件上下设置，所述底座环绕所述第一光学元件和所述第二光学元件设置，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构，所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机和左右旋丝杠组件，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件。本实用新型采用一套同步对向运动输出机构实现两片光学元件的同步对向运动，运动同步性好，且结构和控制简单，对零件的加工精度和装配精度要求较低，成本低。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621308387.8

申请日期：2016-11-30

公开/公告号：CN206282078U

公开/公告日：2017-06-27

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:李静;赵峰

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种实现同步对向运动的机械装置，其特征在于，包括底座、设置在所述底座上的同步对向运动输出机构，第一光学元件和第二光学元件上下设置，所述底座环绕所述第一光学元件和所述第二光学元件设置，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构，所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机和左右旋丝杠组件，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件。