一种激光干涉光刻光学系统
一种激光干涉光刻光学系统涉及激光干涉光刻加工技术领域，解决了现有技术中光学平台搭建复杂，易受到外界干扰，灵活度不高的问题。该系统包括：至少一个分光镜、至少一个反射镜A、多个反射镜B、至少两个柔性光学铰链、至少两个半波片和至少两个偏光镜；柔性光学铰链由导光管和关节组成，每两个导光管通过一个关节连接；每个关节内部设置一个反射镜B；每个柔性光学铰链的出口内设置一个半波片，每个出口外设置一个偏振镜；本实用新型激光束经分光镜分光后，再经全反射镜反射并耦合进入光学铰链，经光学铰链末端输出。该技术减小了设备的面积，减少能量的损耗，避免对繁杂光路的调整和潜在的外界干扰，方便非专业人员进行激光干涉加工操作。
实用新型
CN201621258961.3
2016-11-23
CN206557526U
2017-10-13
G03F7/20(2006.01)I
长春理工大学
翁占坤;王朝阳;曹亮;王璐;董莉彤;王作斌;宋正勋;许红梅;刘兰娇;李理
130022 吉林省长春市卫星路7089号
长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210
李青
吉林;22
一种激光干涉光刻光学系统，其特征在于，该系统包括：至少一个分光镜、至少一个反射镜A、多个反射镜B、至少两个柔性光学铰链、至少两个半波片和至少两个偏光镜；所述柔性光学铰链由导光管和关节组成，每两个导光管通过一个关节连接；每个关节内部设置一个反射镜B；所述每个柔性光学铰链的出口内设置一个半波片，所述每个出口外设置一个偏振镜；光源发出光线，经过分光镜分光后，一部分光线反射进入柔性光学铰链内；一部分光线透射，通过至少一个反射镜A反射后进入柔性光学铰链内，或者经过另一个分光镜分光，一部分光线反射进入柔性光学铰链内；一部分光线透射，通过至少一个反射镜A反射后进入柔性光学铰链内；每束光线对应一个柔性光学铰链；进入柔性光学铰链的光束经过设置在关节上的反射镜B的多次反射，通过半波片和偏振镜，得到的多束偏振光在样品表面或内部汇聚发生干涉，形成干涉图案。