一种单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备

摘要：

本实用新型公开了一种单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，属于直写曝光技术领域。本实用新型的单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，主要对真空吸盘结构进行了改进，有效解决了生产小板时由于漏气而造成的吸力不足的问题。进一步地，吸盘上的气孔分布为中间疏、四周密，有效杜绝了板子边缘翘起的问题，节省了气孔数量，减少了成本。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621246473.0

申请日期：2016-11-22

公开/公告号：CN206363074U

公开/公告日：2017-07-28

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:无锡影速半导体科技有限公司

发明/设计人:沈小宏;赵华

主申请人地址:214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋

专利代理机构:哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211

代理人:耿晓岳

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备包括底座、多棱镜光路、连接板、真空吸盘、一个运动组件、相机；所述运动组件包括一个扫描驱动Y轴和一个升降驱动Z轴；真空吸盘位于运动组件上方；所述多棱镜光路通过连接板与底座连接；所述真空吸盘包括吸盘主体和真空发生装置；吸盘主体上以行和列的形式分布一定数量的气孔，每一行气孔各对应一个继电器，每一列气孔也各对应一个继电器；每个气孔与真空发生装置之间连接有气孔开关；气孔开关同时与该气孔所在行的继电器和该气孔所在列的继电器连接。