一种新型的串级显影槽

摘要：

本实用新型涉及一种新型的串级显影槽，属于半导体晶圆加工技术领域。包括支架、第一槽、第二槽、第三槽、回收桶和放液阀门，所述支架为阶梯形，第一槽、第二槽、第三槽依次固定在支架第一阶梯、第二阶梯、第三阶梯上，每一槽上分别安装有放液阀门，且第三槽的放液阀门位于第二槽上方，第二槽的放液阀门位于第一槽上方，所述回收桶放置在第一槽的放液阀门下方。本实用新型实现了串级显影槽溶液间的自动替换，提升了工作效率和产品的合格率。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621206299.7

申请日期：2016-11-09

公开/公告号：CN206282080U

公开/公告日：2017-06-27

主分类号：G03F7/30(2006.01)I

申请/专利权人:安徽安芯电子科技有限公司

发明/设计人:汪良恩;汪曦凌

主申请人地址:247000 安徽省池州市经济技术开发区富安电子信息产业园10号

专利代理机构:上海市华诚律师事务所 31210

代理人:章登亚

国别省市代码:安徽;34

权利要求：

一种新型的串级显影槽，其特征在于：包括支架、第一槽、第二槽、第三槽、回收桶和放液阀门，所述支架为阶梯形，第一槽、第二槽、第三槽依次固定在支架的第一阶梯、第二阶梯、第三阶梯上，每一槽上分别安装有放液阀门，且第三槽的放液阀门位于第二槽上方，第二槽的放液阀门位于第一槽上方，所述回收桶放置在第一槽的放液阀门下方。