一种柔性材料的双面曝光装置
本实用新型涉及激光曝光技术，具体涉及一种柔性材料的双面曝光装置。目前对柔性材料的曝光需要较多的辅助措施，同时无法做到连续曝光和双面同时曝光。本实用新型提供一种柔性材料的双面曝光方法及装置，本实用新型采用多对卷辊将柔性卷取后绷紧，两个卷辊之间绷紧的柔性材料可以提供一个稳定的曝光平面，在这个稳定的曝光平面的两边分别安置一个曝光装置，卷辊转动带动柔性材料前行，柔性材料的前行过程中，曝光设备工作，可以连续不断地对柔性材料的上下表面进行曝光操作。曝光设备的光学系统上安装有一个主动聚焦模块，可以保证曝光头和柔性材料的表面等距，确保曝光质量。本实用新型相对于现有技术，能够大幅提高柔性材料的曝光效率。
实用新型
CN201621197248.2
2016-11-07
CN206400258U
2017-08-11
G03F7/20(2006.01)I
俞庆平
俞庆平
安徽省合肥市蜀山区莲花路1278号10栋502室
安徽;34
一种柔性材料双面曝光装置，包括曝光装置(300)，所述的曝光装置(300)由光学系统(310)、扫描平台(320)、光源系统(330)、通讯模块(340)、计算机(350)、数据处理模块(360)组成；光学系统(310)和光源系统(330)安装在扫描平台(320)上，所述的光学系统(310)和光源系统(330)多组连续安装并且完全覆盖扫描平台(320)的宽度方向；计算机(350)与通讯模块(340)、扫描平台(320)、数据处理模块(360)分别相连接；所述的光源系统(330)与通讯模块(340)相连接；所述的光学系统(310)与通讯模块(340)相连接；所述的光学系统(310)由数字微镜装置(311)、成像系统(312)组成；其特征在于：还包括卷辊(100)、驱动电机(200)，驱动电机(200)安装在卷辊(100)上，两个卷辊(100)之间绷紧的带状柔性材料两侧面上方分别安装一个曝光装置(300)；所述的成像系统(312)上还安装有一个主动聚焦模块(313)。