一种曝光系统杂散光过滤装置

摘要：

本实用新型公开了一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置，其特征在于：在LED光源的光路方向上，有复数层开孔直径略大于LED芯片之间的挡光板，可以过滤掉不需使用的大角度光线，且相邻的开孔不会相互干扰光路。该系统用于PCB、LCD、触摸屏等领域曝光设备中，具有成本低廉，解析度高等优势。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621178136.2

申请日期：2016-11-03

公开/公告号：CN206378686U

公开/公告日：2017-08-04

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:深圳市柯士达光电有限公司

发明/设计人:何忠亮;朱争鸣;叶文

主申请人地址:518125 广东省深圳市宝安区沙井新桥新发工业区三排七栋

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置，其特征在于：在LED光源的光路方向上，有复数层开孔直径略大于LED芯片之间的挡光板，可以过滤掉不需使用的大角度光线，且相邻的开孔不会相互干扰光路。