一种垂向调整锁紧装置

摘要：

本实用新型提供了一种垂向调整锁紧装置，包括框架板连接件、主杆、调整元件、主基板连接件和锁紧元件：所述框架板连接件连接一框架板和所述主杆；所述调整元件与所述主杆连接；所述主基板连接件固定在一主基板上；所述锁紧元件与所述主基板连接件连接，并将调整元件与主基板连接件锁紧。本实用新型能够在锁紧时消除主基板的残余应力，提升调焦调平的稳定性，提高工作效率。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621157868.3

申请日期：2016-10-31

公开/公告号：CN206450964U

公开/公告日：2017-08-29

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:刁雷

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种垂向调整锁紧装置，其特征在于，包括框架板连接件、主杆、调整元件、主基板连接件和第一锁紧元件：所述框架板连接件连接一框架板和所述主杆；所述调整元件与所述主杆连接；所述主基板连接件固定在一主基板上；所述第一锁紧元件与所述主基板连接件连接，并将调整元件与主基板连接件锁紧。