一种掩膜板结构

摘要：

本实用新型公开一种掩膜板结构，包括掩膜板、设置于掩膜板上表面的第一保护膜以及设置于掩膜板下表面下方的第二保护膜，所述第一保护膜与所述第二保护膜为分离设计，其中，所述第一保护膜为高透过率保护膜，所述第一保护膜与掩膜板上表面密封连接，所述第二保护膜与掩膜板下表面密封连接。与现有技术相比，分离设计的第一保护膜和第二保护膜分别设置在一种掩膜板结构的上、下表面上，可分别进行更换，使掩膜板的清洁、翻新变得更加快捷，极大的节省了掩膜板清洁成本。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621146236.7

申请日期：2016-10-21

公开/公告号：CN206162053U

公开/公告日：2017-05-10

主分类号：G03F1/48(2012.01)I

申请/专利权人:昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司

发明/设计人:刘晓佳;邓亮;张成明

主申请人地址:215300 江苏省苏州市昆山市昆山高新区晨丰路188号

专利代理机构:上海波拓知识产权代理有限公司 31264

代理人:杨波

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种掩膜板结构，其特征在于，包括掩膜板、设置于所述掩膜板上表面的第一保护膜以及设置于所述掩膜板下表面下方的第二保护膜，所述第一保护膜与所述第二保护膜为分离设计，其中所述第一保护膜为高透过率保护膜，所述第一保护膜与所述掩膜板上表面密封连接，所述第二保护膜与所述掩膜板下表面密封连接。