改进的光阻预烤炉移动销

摘要：

本实用新型公开了一种改进的光阻预烤炉移动销，其以平移式圆周往返运动来支撑玻璃基板，能避免在玻璃基板上残留刮痕，以降低玻璃基板的不合格率。其主要由腔体、热板、驱动装置及移动销组成，该腔体为一容槽状，内设有热板及驱动装置，驱动装置上设有可移动的移动销，移动销贯穿热板的轨道沟并凸伸出热板，从而能利用驱动装置中的驱动器控制移动销进行平面移动，且同时支撑玻璃基板，使玻璃基板于烘烤时，该移动销不会持续接触到玻璃基板的同一点上，以防止产生销痕，进而提升玻璃基板的质量。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621115588.6

申请日期：2016-10-12

公开/公告号：CN206321938U

公开/公告日：2017-07-11

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:李东明

发明/设计人:李东明;小幡达夫

主申请人地址:中国台湾高雄市

专利代理机构:北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139

代理人:孙皓晨

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

一种改进的光阻预烤炉移动销，其由腔体、热板、驱动装置及移动销组成，该腔体为一容槽状，该腔体内设有热板及驱动装置，驱动装置上设有固定销及多个移动销，其特征在于：该移动销贯穿热板并置放在轨道沟内，且移动销链接有驱动装置，驱动装置中的驱动器控制移动销进行平移式圆周往返运动。