扫描系统

摘要：

一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，该扫描系统包括:激光源，其从激光源的出口输出写入光束；台，用于安装要被处理的印刷电路板；光学器材，用于将写入光束引导到印刷电路板表面上；工作底部，用于支撑所述激光源、光学器材和台；以及抽吸单元(1400)，流体连接到从激光源延伸的管道(1422)，其中抽吸单元(1400)被连接到管道(1422)中的开口且建立将由激光源产生的颗粒重新引导向抽吸单元(1400)的空气流(1440)。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621107583.9

申请日期：2016-10-09

公开/公告号：CN206594446U

公开/公告日：2017-10-27

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:激光影像系统有限责任公司

发明/设计人:R.帕格尔

主申请人地址:德国耶拿

专利代理机构:北京市柳沈律师事务所 11105

代理人:陈钘

国别省市代码:德国;DE

权利要求：

一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，其特征在于，该扫描系统包括:激光源，其从激光源的出口输出写入光束；台，用于安装要被处理的印刷电路板；光学器材，用于将写入光束引导到印刷电路板表面上；工作底部(92)，用于支撑所述激光源、光学器材和台；以及抽吸单元(1400)，流体连接到从激光源(12)延伸的管道(1422)，其中抽吸单元(1400)被连接到管道(1422)中的开口且建立由激光源产生的颗粒重新引导朝向抽吸单元(1400)的空气流(1440)。