扫描系统

摘要：

一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，该扫描系统包括：台，用于安装要被处理的印刷电路板，其中多个真空出口(202)设置在台上，用于保持印刷电路板的面板；工作底部，其中台被可运动地安装在工作底部上；真空源连接件(410)，用于连接到真空源；真空软管(450)，设置在真空出口(202)和真空源之间，其中真空软管(450)沿其长度由多个支架(420)支撑，且支架(420)沿真空软管轨道(480)骑跨。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621106907.7

申请日期：2016-10-09

公开/公告号：CN206594445U

公开/公告日：2017-10-27

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:激光影像系统有限责任公司

发明/设计人:U.巴蒂格

主申请人地址:德国耶拿

专利代理机构:北京市柳沈律师事务所 11105

代理人:陈钘

国别省市代码:德国;DE

权利要求：

一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，其特征在于，该扫描系统包括:台，用于安装要被处理的印刷电路板，其中多个真空出口(202)设置在台上，用于保持印刷电路板的面板；工作底部，其中台被可运动地安装在工作底部上；真空源连接件，用于连接到真空源(410)；真空软管(450)，设置在真空出口(202)和真空源(410)之间，其中真空软管(450)沿其长度由多个支架(420)支撑，且支架(420)沿真空软管轨道(480)骑跨。