扫描系统及其过滤器风扇单元

摘要：

一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，该扫描系统包括罩盖(511)、底部(92)、过滤器风扇单元(500)，以及位于底部(92)上且被罩在罩盖(511)之下的光学器材，其中所述过滤器风扇单元包括：输入过滤器(510)，用于从外部接收空气；输出过滤器(530)，用于提供预清洁空气的空气流在扫描器系统(10)的罩盖(511)下方和底部(92)上方；以及风扇(520)，布置在输入过滤器(510)和输出过滤器(530)之间，且风扇(520)穿过输入过滤器(510)朝向输出过滤器(530)抽吸空气流(502)，以便于在罩盖(511)下方和底部(92)上方产生清洁空气的正压力。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621106478.3

申请日期：2016-10-09

公开/公告号：CN206470534U

公开/公告日：2017-09-05

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:激光影像系统有限责任公司

发明/设计人:U.克洛斯基

主申请人地址:德国耶拿

专利代理机构:北京市柳沈律师事务所 11105

代理人:陈钘

国别省市代码:德国;DE

权利要求：

一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，其特征在于，该扫描系统包括罩盖(511)、底部(92)、过滤器风扇单元(500)以及位于底部(92)上且被罩在罩盖(511)之下的光学器材，其特征在于，所述过滤器风扇单元包括：输入过滤器(510)，用于从外部接收空气；输出过滤器(530)，用于提供预清洁空气的空气流在扫描器系统(10)的罩盖(511)下方和底部(92)上方；以及风扇(520)，布置在输入过滤器(510)和输出过滤器(530)之间，且风扇(520)穿过输入过滤器(510)朝向输出过滤器(530)抽吸空气流(502)，以便于在罩盖(511)下方和底部(92)上方产生清洁空气的正压力。