掩模版传输系统

摘要：

本实用新型提供了一种传输大尺寸掩模版的掩模版传输系统；该掩模版传输系统包括版库，缓存台，机械手运动模组，掩模台，其中，机械手运动模组上对称地搭载有一机械手版叉，减小了大尺寸掩模版在传输过程中因受力不平衡导致其发生倾斜变形的风险。机械手版叉同时设有多个吸附结构与多个吊钩组件，可以有效避免因掩模版受力不均匀而导致的弹性变形，进而增加掩模版传输系统的安全性。缓存台位于版库与掩模台之间，机械手运动模组横跨于缓存台与掩模台之间。版库具有一版库版叉，用于将未曝光的掩模版推送至缓存台或将已曝光的掩模版载运回版库，减小了从版库取放掩模版的复杂度。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621100546.5

申请日期：2016-09-30

公开/公告号：CN206209287U

公开/公告日：2017-05-31

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:马方波;吴福龙

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种掩模版传输系统，其特征在于，包括：版库，缓存台，机械手运动模组以及掩模台，其中，所述缓存台位于所述版库与掩模台之间，所述机械手运动模组横跨于所述缓存台与掩模台之间，所述机械手运动模组的下表面设有一滑轨，一机械手版叉对称地悬挂于所述滑轨上，并沿所述滑轨在所述缓存台与掩模台之间滑动。