光罩夹具

摘要：

本实用新型实施例提供一种光罩夹具，包括支架，支架的长度方向上的两末端分别枢接有一手柄，所述手柄的中段枢接于支架的相应末端，且所述手柄的靠近支架内侧的一端还枢接有用于抵接待夹持物的夹持模块。本实用新型实施例通过将手柄枢接于支架两末端且手柄靠支架内侧的一端还枢接有夹持模块，当位于支架两端的夹持模块在手柄的作用下沿支架的长度方向做相向运动时，就缩短了夹持模块之间的距离，从而使夹持模块接触光罩进而夹紧光罩，方便光罩的夹取；另外，夹持模块的夹持部设有用于容纳光罩靠边缘部位的限位槽，能有效防止光罩在夹持移动过程中因晃动而从夹持模块上脱落下来使光罩损坏，使夹取更加安全可靠。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201621095822.3

申请日期：2016-09-30

公开/公告号：CN206057789U

公开/公告日：2017-03-29

主分类号：G03F1/64(2012.01)I

申请/专利权人:深圳市路维光电股份有限公司

发明/设计人:杜武兵;黄国勇

主申请人地址:518057 广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园D座一楼

专利代理机构:深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320

代理人:肖伟

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种光罩夹具，其特征在于：包括支架，支架的长度方向上的两末端分别枢接有一手柄，所述手柄的中段枢接于支架的相应末端，且所述手柄的靠近支架内侧的一端还枢接有用于抵接待夹持物的夹持模块。