一种半导体热板光刻装置
本实用新型公开了一种半导体热板光刻装置，包括支撑底座、第一频率控制器、第二频率控制器、支撑柱、第一电动伸缩杆、皮带输送机、半导体热板、固定卡扣、第二电动伸缩杆、固定外壳体、红外激光雕刻头和滚轮，所述支撑柱的上端与第一电动伸缩杆固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二电动伸缩杆固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部通过固定卡扣与红外激光雕刻头固定连接；所述固定外壳体内固定有皮带输送机；所述皮带输送机的输送皮带上固定有半导体热板；所述支撑底座的下端四周设置有四个滚轮。该实用新型的有益效果是工作效率高，自动化程度高，光刻效果好，上料便捷，光刻效率高、拆卸安装便捷和移动使用便捷。
实用新型
CN201621045491.2
2016-09-09
CN206057798U
2017-03-29
G03F7/20(2006.01)I
厦门芯光润泽科技有限公司
卓廷厚
福建省厦门市思明区镇海路26号六楼B区17单元
福建;35
一种半导体热板光刻装置，包括支撑底座（1）、连接法兰（2）、第一频率控制器（3）、第二频率控制器（4）、支撑柱（5）、第一电动伸缩杆（6）、皮带输送机（7）、半导体热板（8）、铰接轴（9）、固定卡扣（10）、第二电动伸缩杆（11）、固定外壳体（12）、电源插头（13）、红外激光雕刻头（14）和滚轮（15），其特征在于：所述支撑底座（1）的右端与连接法兰（2）固定连接；所述连接法兰（2）的上端与支撑柱（5）的下端固定连接；所述支撑柱（5）的上端与第一电动伸缩杆（6）固定连接；所述第一电动伸缩杆（6）的伸缩杆端部与第二电动伸缩杆（11）固定连接；所述第二电动伸缩杆（11）的伸缩杆端部通过固定卡扣（10）与红外激光雕刻头（14）固定连接；所述支撑底座（1）的左侧与固定外壳体（12）固定连接；所述固定外壳体（12）内固定有皮带输送机（7）；所述皮带输送机（7）的输送皮带上固定有半导体热板（8）；所述支撑底座（1）的下端四周设置有四个滚轮（15）；所述滚轮（15）通过铰接轴（9）与支撑底座（1）固定连接；所述支撑柱（5）的上固定有第一频率控制器（3）和第二频率控制器（4）；所述第一频率控制器（3）与第一电动伸缩杆（6）电性连接；所述第二频率控制器（4）与第二电动伸缩杆（11）电性连接。