大面积平板吸附压印装置

摘要：

本实用新型公开了一种大面积平板吸附压印装置，其包括：软膜模具，其表面设置有压印图案；模具驱动部，其驱动面上设置有多个孔体，模具驱动部还连接吸附驱动装置，吸附驱动装置驱动孔体吸附住软膜模具，孔体在驱动面分为多个由内至外分布直径逐渐变大的环形孔体组，每个环形孔体组包括多个组成环形的孔体，各个环形孔体组的圆心重合，重合处设有一孔体；底板，其上设置有样品，样品上涂覆有固化胶。本实用新型中，压印时，模具就像水波纹一样地逐渐贴覆到固化胶上去，克服直接压制所带来的应力等问题，使得贴覆更为轻盈和紧密，从而有效地解决固化胶表面的气泡问题。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201620934702.1

申请日期：2016-08-25

公开/公告号：CN206788549U

公开/公告日：2017-12-22

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:苏州光越微纳科技有限公司

发明/设计人:史晓华

主申请人地址:215000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城13栋302

专利代理机构:苏州华博知识产权代理有限公司 32232

代理人:靳苗静

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

大面积平板吸附压印装置，其特征在于，包括：软膜模具，其表面设置有压印图案，从所述软膜模具的纵截面看，所述压印图案呈锯齿状；模具驱动部，其驱动面上设置有多个孔体，所述模具驱动部还连接吸附驱动装置，所述吸附驱动装置驱动所述孔体吸附住所述软膜模具，所述孔体在所述驱动面分为四个由内至外分布直径逐渐变大的环形孔体组，每个所述环形孔体组包括多个组成环形的所述孔体，各个所述环形孔体组的圆心重合，重合处设有一所述孔体，四个所述环形孔体组由内至外形成第一环形孔体组、第二环形孔体组、第三环形孔体组和第四环形孔体组，所述第一环形孔体组包括十个所述孔体，所述第二环形孔体组包括十六个所述孔体，所述第三环形孔体组包括二十个所述孔体，所述第四环形孔体组包括三十个所述孔体，所述模具驱动部为吸盘，所述吸盘为圆形吸盘，其由气缸或电机驱动沿垂直方向运动；底板，其上设置有样品和紫外固化灯，所述样品上涂覆有固化胶。