一种支撑件及减压干燥设备

摘要：

本实用新型公开了一种支撑件，其中，所述支撑件包括支撑柱和与所述支撑柱一端连接的支撑帽，所述支撑柱包括支撑底座和支撑针，所述支撑针的一端与所述支撑帽连接，所述支撑针的另一端与所述支撑底座连接，所述支撑针的沿垂直于所述支撑针的轴线方向的横截面积小于所述支撑帽的沿垂直于所述支撑针的轴线方向的横截面积，且所述支撑针的沿垂直于所述支撑针的轴线方向的横截面积小于所述支撑底座的沿垂直于所述支撑针的轴线方向的横截面积。本实用新型还提供一种减压干燥设备。本实用新型提供的支撑件能够使得所支撑的基板上各部分的光刻胶均匀挥发。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201620889862.9

申请日期：2016-08-16

公开/公告号：CN205899241U

公开/公告日：2017-01-18

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:合肥鑫晟光电科技有限公司%京东方科技集团股份有限公司

发明/设计人:张心杰;吴昌樺;赵武;张卫帅;丁瑞

主申请人地址:230012 安徽省合肥市新站区工业园内

专利代理机构:北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人:姜春咸%陈源

国别省市代码:安徽;34

权利要求：

一种支撑件，所述支撑件用于减压干燥设备中，所述减压干燥设备包括减压干燥腔和设置在所述减压干燥腔中的支撑装置，所述支撑装置包括多个支撑件，其特征在于，所述支撑件包括支撑柱和与所述支撑柱一端连接的支撑帽，所述支撑柱包括支撑底座和支撑针，所述支撑针的一端与所述支撑帽连接，所述支撑针的另一端与所述支撑底座连接，所述支撑针的沿垂直于所述支撑针的轴线方向的横截面积小于所述支撑帽的沿垂直于所述支撑针的轴线方向的横截面积，且所述支撑针的沿垂直于所述支撑针的轴线方向的横截面积小于所述支撑底座的沿垂直于所述支撑针的轴线方向的横截面积。