一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置

摘要：

本实用新型公开了一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，包括软管、高压泵、除杂处理装置和输送泵，所述软管上设置有单向阀，且单向阀与高压泵之间通过第一回收管密封连接，所述高压泵与稀释处理装置之间通过大口径回收管密封连接，且稀释处理装置与除杂处理装置之间第二回收管密封连接，所述除杂处理装置的右侧设置有输送泵，且处理装置上安装有控制阀，所述输送泵与胶桶之间通过第三回收管密封连接，且胶桶的底部设置有过滤网，所述过滤网的底部设置有开关阀。本实用新型结构设计简单，使用操作方便，提供过滤装置能够将回收的光刻胶过滤，通过各部分装置的配合，从而实现使用过的光刻胶的回收，减小光刻胶的浪费，降低生产成本。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201620847928.8

申请日期：2016-08-04

公开/公告号：CN206178340U

公开/公告日：2017-05-17

主分类号：G03F7/30(2006.01)I

申请/专利权人:惠州市浩明科技股份有限公司

发明/设计人:陈灏渠

主申请人地址:516259 广东省惠州市惠阳区平潭镇怡发工业区

专利代理机构:广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人:蒋剑明

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，包括软管(2)、高压泵(5)、除杂处理装置(10)和输送泵(12)，其特征在于：所述软管(2)上设置有单向阀(3)，且单向阀(3)与高压泵(5)之间通过第一回收管(4)密封连接，所述高压泵(5)与稀释处理装置(8)之间通过大口径回收管(7)密封连接，且稀释处理装置(8)与除杂处理装置(10)之间第二回收管(9)密封连接，所述除杂处理装置(10)的右侧设置有输送泵(12)，且处理装置(10)上安装有控制阀(11)，所述输送泵(12)与胶桶(14)之间通过第三回收管(13)密封连接，且胶桶(14)的底部设置有过滤网(15)，所述过滤网(15)的底部设置有开关阀(17)。